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メカニカルポジショニングシステムの精度は?

スキャナーはパテントのリアルタイムコントロールループをベースとした高精度のメカニカルポジショニングシステムを備えています。絶対ポジショニングはInnoScan 710であれば、スライド全体で10μmとなり、InnoScan 900であれば、22mm x 22mmで4μmとなります。

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